晶体炉

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小型布里奇曼单晶生长炉

小型布里奇曼单晶生长炉

立式双温区管式炉,小型开启式立式管式炉,小型布里奇曼单晶生长炉

工作电压:208~240VAC

最大功率:4KW*2个

加热温区:每个温区100mm,总温区长度200mm

最高加热温度:1200℃

连续工作温度:1100℃

2个程序温控器,分别独立控制2个温区,控温精度可达+/-0.1℃

产品分类:

产品介绍

立式双温区管式炉,小型开启式立式管式炉,小型布里奇曼单晶生长炉

工作电压:208~240VAC

最大功率:4KW*2个

加热温区:每个温区100mm,总温区长度200mm

最高加热温度:1200℃

连续工作温度:1100℃

2个程序温控器,分别独立控制2个温区,控温精度可达+/-0.1℃

最大温度梯度:1℃/cm,用户需找到合适的温度梯度,可通过调节2个温区的温度,能创造不同的温度梯度,调节炉体打开的直径也可改变温度梯度

设备中包含石英管(外径Φ80mm×内径Φ72mm×长800mm)和不锈钢密封法兰炉体移动机构

采用伺服电机来驱动炉体上下移动

私服电机+高精度直线模组保证炉体在移动过程中不卡顿

炉体移动有慢速提拉和快速移动两种模式

最大移动行程:200mm

移动速度范围:0.03mm/hr--30mm/hr(可调,精度+/-1um)

可根据客户要求来定制炉体移动速度范围密封法兰

一对不锈钢密封法兰,用于密封石英管·顶部法兰安装有压力传感器和Φ6.35mm

出气口,底部法兰有KF25真空接口和Φ6.35mm的进气口

底部法兰采用步进电机驱动升降,用于装入和取出坩埚

设备中配有一直径Φ60mm×70mmH的石墨坩埚

坩埚台安装在底部法兰上

真空度:10-2torr(采用机械泵)

触摸屏控制面板可控制炉体移动速度,移动行程和炉体温度和显示坩埚的温度,也可控制炉管内部气压

配合加热炉升温曲线设置预提拉时间。

温度曲线功能,时时显示两条控温曲线和坩埚底部温度曲线,温度曲线数据可以保存记录和导出

2个宇电仪表或者欧陆仪表(Eurothermo)分别控制2个温区,控温精度+/-0.1℃

包含3根K型热电偶,2根热电偶分别控制和检测2个温区的温度,1根热电偶用于检测坩埚底部的温度。

坩埚台与底部法兰相互连接·一个数显压力传感器和电磁阀安装在密封法兰上,用于控制炉管内气压恒定,控制范围:0.01MPa-0.02MPa

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