VTF-PECVD-1200立式单温区PECVD系统

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产品摘要:

VTF-PECVD-1200立式单温区PECVD系统以瑞典Kanthal电阻丝为加热元件,采用双层壳体结构和30段程序控温仪表,移相触发、可控硅控制,炉膛采用氧化铝多晶纤维材料,炉管两端能不锈钢法兰密封,不锈钢法兰上安装有气嘴、阀门和压力表,抽真空时真空度能够达到10-3 Pa,具有温场均衡、表面温度低、升降温度速率快、节能、价格优惠等优点。


产品描述
VTF-PECVD-1200-立式单温区PECVD系统详细介绍:
 
VTF-PECVD-1200立式单温PECVD系统,由VTL-VTF1200真空立式管式炉、石英真空室、射频电源、GX供气系统、抽气系统、真空测量系统组成。
 主要特点:
     1、通过射频电源把石英真空室内的气体变为离子态。
     2、PECVD比普通CVD进行化学气相沉积所需的温度更低。
     3、可以通过射频电源的频率来控制所沉积薄膜的应力大小。
     4、PECVD比普通CVD进行化学气相沉积速率高、均匀性好、一致性和稳定性高。
     5、广泛应用于:各种薄膜的生长,如:SiOx, SiNx, SiOxNy 和无定型硅(a-Si:H) 等。
VTF1200-PECVD系统以瑞典Kanthal电阻丝为加热元件,采用双层壳体结构和30段程序控温仪表,移相触发、可控硅控制,炉膛采用氧化铝多晶纤维材料,炉管两端能不锈钢法兰密封,不锈钢法兰上安装有气嘴、阀门和压力表,抽真空时真空度能够达到10-3 Pa,具有温场均衡、表面温度低、升降温度速率快、节能、价格优惠等优点。  
 
1、瑞典Kanthal A1 电阻丝
                
(1)、表面温度高可达1420℃
(2)、表面为不锈钢色(非常亮、客户识别时要注意)、不会生锈,使用时间再长都不会掉渣。
(3)、Kanthal电阻丝资料下载
(4)、Kanthal电阻丝网站:www.kanthal.com
(5)、电阻均衡、温场均衡性好
                                                                                             
2、安装有空气开关和漏电保护器:
当电路过流或漏电时,空开会自动断开。
 
 
VTF-PECVD-1200-立式单温区PECVD系统技术参数:
 
型号 功率 炉管尺寸mm 电源电压
VTF-PECVD-1200-60 3.5KW φ60*1200 220V
VTF-PECVD-1200-80 3.5KW φ80*1200 220V
VTF-PECVD-1200-100 3.5KW φ100*1200 220V
 
3、可以与电脑连接
该炉配有通讯接口和软件,可以直接通过电脑控制炉子的各个参数,并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况,炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出,并能把每个时刻的温度数据保存起来,随时可以调出
 
 
4、炉膛
 
1、真空吸滤成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛。
2、采用日本技术成型。
3、炉膛里电阻丝的间距和节距全部按日本最优的热工技术布置、经过热工软件模拟温场
4、采用4周加热,温场更加均衡
 
5、可选UL认证电气板 (全部通过UL认证的进口电器)
 
 
6、认证
     
 
7、法兰
 
                                                    
                  
8、全图
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