KTL-CVD-1700单温区CVD系统

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产品摘要:

CVD系统由供气系统+管式炉+抽气系统 ,最高温度可以达到1200度、1400度、1600度、1700度,加热区间可以是单温区、双温区、三温区等,极限真空可以达到10-3Pa,供气系统是流量调节可以是质子流量计或浮子流量计,混气路数可以是2路、3路、4路、5路相混合。


产品描述
KTL-CVD-1700单温区CVD系统详细介绍:
 
CVD系统由供气系统+管式炉+抽气系统 ,最高温度可以达到1200度、1400度、1600度、1700度,加热区间可以是单温区、双温区、三温区等,极限真空可以达到10-3Pa,供气系统是流量调节可以是质子流量计或浮子流量计,混气路数可以是2路、3路、4路、5路相混合。
 
这款CVD系统是由4路供气系统KTL1600管式炉+真空系统组成
 
 
1、加热元件
                    
(1)、硅钼棒的热端粗度D1为7mm、一般厂家采用的6MM、加热端粗、不容易弯曲、棒子的表面负荷低,使用寿命长。
(2)、采用的是热弯技术,电阻均匀,使用寿命长
(3)、Lu冷端长度为210mm, 400X300X300炉子为260 ,一般厂家采用180mm, 冷端长炉顶温度低。
(4)、硅钼棒表面氧化非晶膜致密,能够比较好的保护硅钼棒。
 
2、安装有空气开关和漏电保护器:
 
当电路过流或漏电时,空开会自动断开。
 
 
KTL-CVD-1700单温区CVD系统技术参数:
 
型号 功率KW 炉管尺寸mm 外形尺寸mm 电源电压
KTL-CVD-1700-60 5KW φ60*1000 610*490*80 220V/380
KTL-CVD-1700-100 6KW φ100*1000 610*550*850 380V/380
 
控温模式:智能PID
 
断偶保护和显示:有
 
过温保护:有
 
过流保护:有
 
控制精度:+/- 1 ℃
 
触发器:移相触发
 
电器:浙江正泰
 
可控硅:106/16E 德国西门康
 
最高温度:1700 ℃
 
额定温度:1650 ℃
 
升温速率:≤20 ℃/ Min (可根据要求修改)
 
推荐升温速率:≤10℃/ Min
 
热电偶型号:B型
 
加热段长度:300 mm
 
 
3、可以与电脑连接
 
该炉配有通讯接口和软件,可以直接通过电脑控制炉子的各个参数,并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况,炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出,并能把每个时刻的温度数据保存起来,随时可以调出
 
 
4、炉膛
 
1、真空吸滤成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛。
2、采用日本技术成型。
3、炉膛里电阻丝的间距和节距全部按日本最优的热工技术布置、经过热工软件模拟温场
4、采用4周加热,温场更加均衡
5、该炉膛不掉粉、材料保温性能好、反射率高、温场均衡,抗热涨冷缩能力强
 
5、可选UL认证电气板 (全部通过UL认证的进口电器)
 
6、触发器
 
1、移相触发(带软启动和限流功能)
2、限流功能:无论怎么样设置升温速率,我们电炉的二次电流始终被限制在170A以内,有效的保护了设备。由于采用限流功能,高温下可开炉门。如果您使用的电炉需要在升温过程中对炉子的升温速率进行限制(例如:规定在1400℃后不得超过3℃/min等)即采用非限流触发器。升温速率设置错误或者升温速率过快、这时电流会非常大,设备会跳闸或烧坏。
3、软启动功能:开机时电流会慢慢增大,对加热元件的冲击较小,有利于加热元件寿命的延长
4、保护功能:如果电流超过限制电流、触发器会自动切断触发功能以切断电流保护电炉。
 
7、UL认证变压器
 
1、变压器电缆为纯铜
2、变压器声音小
3、变压器温身低
8、不锈钢支撑架
       
8、多款可供选择的各种法兰 (直径从25到250mm)
                         
 
9、认证
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