KTL1400-CVD单温区CVD系统单温区CVD系统详细介绍:
CVD系统由供气系统+管式炉+抽气系统 ,最高温度可以达到1200度、1400度、1600度、1700度,加热区间可以是单温区、双温区、三温区等,极限真空可以达到10-3Pa,供气系统是流量调节可以是质子流量计或浮子流量计,混气路数可以是2路、3路、4路、5路相混合。KTL-CVD-1400单温区CVD系统系统是由3路供气系统+KTL1400管式炉+真空系统组成
加热元件
(1)、硅碳棒的热端粗度d为14mm、一般厂家采用的12MM、加热端粗、不容易弯曲、棒子的表面负荷低,使用寿命长。
(2)、m冷端长度为210mm, 一般厂家采用180mm, 冷端长炉顶温度低。
(3)、硅碳棒表面氧化非晶膜致密,能够比较好的保护碳棒。
KTL1400-CVD单温区CVD系统单温区CVD系统技术参数:
型号 | 功率KW | 炉管尺寸mm | 外形尺寸mm | 电源电压 |
KTL1400-CVD-60 | 5KW | φ60*1000 | 610*490*800 | 220V/380V |
KTL1400-CVD-80 | 5KW | φ80*1000 | 610*550*850 | 220V/380V |
KTL1400-CVD-100 | 6KW | φ100*1000 | 610*550*850 | 220V/380V |
KTL1400-CVD系统技术参数:
控温模式:智能PID
断偶保护和显示:有
过温保护:有
过流保护:有
控制精度:+/- 1 ℃
触发器:移相触发
电器;浙江正泰
可控硅:106/16E 德国西门康
最高温度:1400 ℃
工作温度:1300 ℃
推荐升温速率:15℃/ Min
热电偶型号:S型
加热段长度:300 mm
炉膛
1、真空吸滤成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛。
2、采用日本技术成型。
3、炉膛材料热容低、热传导系数低,从而散热少、保温好、反射率高。温场均衡。
4、炉膛氧化铝丝细而长、耐温高、抗热涨冷缩能力强。
5、炉膛表面光洁、不易掉粉。
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