OTL1200-CVD单温区可调真空CVD管式炉系统详细介绍:
CVD系统由供气系统+管式炉+抽气系统 ,最高温度可以达到1200度、1400度、1600度、1700度,加热区间可以是单温区、双温区、三温区等,极限真空可以达到10-3Pa,供气系统是流量调节可以是质子流量计或浮子流量计,混气路数可以是2路、3路、4路、5路相混合。OTL1200单温区可调真空CVD双管炉是由3路供气系统+OTL1200双管式炉+真空系统组成
OTL1200单温区可调真空CVD管式炉以进口电阻丝为加热元件,采用双层壳体结构和厦门宇电控温仪表,能进行50段程序控温,移相触发、可控硅控制,炉膛采用氧化铝多晶纤维材料,具有温场均衡、表面温度低、升降温度速率快、节能等优点。
炉膛
1、真空吸滤成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛。
2、采用日本技术成型。
3、炉膛里电阻丝的间距和节距全部按日本最优的热工技术布置、经过热工软件模拟温场
4、采用4周加热,温场更加均衡
型号 | 功率 | 炉管尺寸mm | 外形尺寸mm | 电源电压 |
OTL1200-CVD-80 | 3.5KW | φ80(ID73))*1460 | 1600*490*600 | 220V |
OTL1200-CVD-100 | 3.5KW | φ100(ID93))*1460 | 1600*490*600 | 220V |
OTL1200-CVD单温区可调真空CVD管式炉系统技术参数:
控温模式:智能PID
断偶保护和显示:有
过温保护:有
过流保护:有
控制精度:+/- 1 ℃
触发器:移相触发
电器:浙江正泰
可控硅:106/16E 德国西门康
最高温度:1200 ℃
工作温度:1100 ℃
推荐升温速率:≤15℃/ Min
热电偶型号:K型
加热段长度:440mm
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