CVD系统

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OTL1200-CVD单温区可调真空CVD管式炉系统

OTL1200-CVD单温区可调真空CVD管式炉系统

OTL1200-CVD单温区可调真空CVD管式炉系统详细介绍:  CVD系统由供气系统+管式炉+抽气系统 ,最高温度可以达到1200度、1400度、1600度、1700度,加热区间可以是单温区、双温区、三温区等,极限真空可以达到10-3Pa,供气系统是流量调节可以是质子流量计或浮子流量计,混气路数可以是2路、3路、4路、5路相混合。OTL1200单温区可调真空CVD双管炉是由3路供气系统+OTL1200双管式炉+真空系统组成  OTL1200单温区可调真空CVD管式炉以进

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OTL1200-CVD单温区可调真空CVD管式炉系统详细介绍:
 
CVD系统由供气系统+管式炉+抽气系统 ,最高温度可以达到1200度、1400度、1600度、1700度,加热区间可以是单温区、双温区、三温区等,极限真空可以达到10-3Pa,供气系统是流量调节可以是质子流量计或浮子流量计,混气路数可以是2路、3路、4路、5路相混合。OTL1200单温区可调真空CVD双管炉是由3路供气系统+OTL1200双管式炉+真空系统组成
 

OTL1200单温区可调真空CVD管式炉以进口电阻丝为加热元件,采用双层壳体结构和厦门宇电控温仪表,能进行50段程序控温,移相触发、可控硅控制,炉膛采用氧化铝多晶纤维材料,具有温场均衡、表面温度低、升降温度速率快、节能等优点。

炉膛     

1、真空吸滤成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛。
2、采用日本技术成型。
3、炉膛里电阻丝的间距和节距全部按日本最优的热工技术布置、经过热工软件模拟温场
4、采用4周加热,温场更加均衡

型号功率炉管尺寸mm外形尺寸mm电源电压
OTL1200-CVD-803.5KWφ80(ID73))*14601600*490*600220V
OTL1200-CVD-1003.5KWφ100(ID93))*14601600*490*600220V

OTL1200-CVD单温区可调真空CVD管式炉系统技术参数:

控温模式:智能PID

断偶保护和显示:有
过温保护:有
过流保护:有
控制精度:+/- 1 ℃
触发器:移相触发
电器:浙江正泰
可控硅:106/16E 德国西门康
最高温度:1200 ℃

工作温度:1100 ℃

推荐升温速率:≤15℃/ Min

热电偶型号:K型 

加热段长度:440mm

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