CVD系统

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OTL1200-CVD单温区CVD系统

OTL1200-CVD单温区CVD系统

OTL-CVD-1200单温区CVD系统详细介绍:  CVD系统由供气系统+管式炉+抽气系统 ,最高温度可以达到1200度、1400度、1600度、1700度,加热区间可以是单温区、双温区、三温区等,极限真空可以达到10-3Pa,供气系统是流量调节可以是质子流量计或浮子流量计,混气路数可以是2路、3路、4路、5路相混合。OTL1200-CVD系统是由3路供气系统+OTL1200管式炉+真空系统组成  OTL1200-CVD系统以进口电阻丝为加热元件

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产品介绍

OTL-CVD-1200单温区CVD系统详细介绍:
 
CVD系统由供气系统+管式炉+抽气系统 ,最高温度可以达到1200度、1400度、1600度、1700度,加热区间可以是单温区、双温区、三温区等,极限真空可以达到10-3Pa,供气系统是流量调节可以是质子流量计或浮子流量计,混气路数可以是2路、3路、4路、5路相混合。OTL1200-CVD系统是由3路供气系统+OTL1200管式炉+真空系统组成
OTL1200-CVD系统以进口电阻丝瑞典(Canthal)为加热元件,采用双层壳体结构和日本岛电控温仪表,能进行40段程序控温,移相触发、可控硅控制,炉膛采用氧化铝多晶纤维材料,具有温场均衡、表面温度低、升降温度速率快、节能等优点,是高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、气氛还原、CVD实验、真空退火用的理想产品。
OTL1200-CVD单温区CVD系统技术参数:
型号功率炉管尺寸外形尺寸电源电压
OTL1200-CVD-603.5KWφ60*1000580*370*540220V
OTL1200-CVD-803.5KWφ80*1000580*370*590220V
OTL1200-CVD-1003.5KWφ100*1000580*370*590220V
OTL1200-CVD-1505KWφ150*1000580*440*610220V

OTL1200-CVD管式炉系统:

控温模式:智能PID

断偶保护和显示:有

过温保护:有

过流保护:有

控制精度:+/- 1 ℃

触发器:移相触发

电器:浙江正泰

可控硅:106/16E 德国西门康

最高温度:1200 ℃

额定温度:1100 ℃

升温速率:≤30 ℃/ Min (可根据要求修改)

推荐升温速率:≤15℃/ Min

热电偶型号:K  型 
加热段长度:440mm

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