RTF-PECVD-1200转动式PECVD系统

首页 > 管式炉 > 转动管式炉 > RTF-PECVD-1200转动式PECVD系统
  • RTF1200单温区转动管式炉
  • RTF1200-1200双温区转动管式炉
  • RTF1200-1200-1200三温区转动管式炉
  • RTF-PECVD-1200转动式PECVD系统
  • RTL1200转动管式炉

产品摘要:

RTF-PECVD-1200转动式PECVD系统具有断电保护功能,且配有通讯接口和软件,转动式PECVD系统的炉膛采用日本技术成型,四周加热,温场更加均衡。


产品描述

RTF-PECVD-1200转动式PECVD系统详细介绍:

 

 

 

 
 
(1)、表面温度高可达1420℃
 
(2)、表面为不锈钢色(非常亮、客户识别时要注意)、不会生锈,使用时间再长都不会掉渣。
 
(3)、电阻均衡、温场均衡性好
 
 
 
 
 
 
当电路过流或漏电时,空开会自动断开。
 
 

 
     
OTL1200单温区转动管式炉配有通讯接口和软件,可以直接通过电脑控制炉子的各个参数,并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况,炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出,并能把每个时刻的温度数据保存起来,随时可以调出
 
 
 
 
 
 
 
 
1、真空吸滤成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛。
 
2、采用日本技术成型。
 
3、炉膛里电阻丝的间距和节距全部按日本最优的热工技术布置、经过热工软件模拟温场
 
4、采用4周加热,温场更加均衡
 
 
 
(全部通过UL认证的进口电器)
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
RTF-PECVD-1200转动式PECVD系统产品型号规格:
 
 
 
型号 功率 炉管尺寸(mm) 外形尺寸 电源电压 相数
RTF-PECVD-1200-60 3.5KW Dia60(OD)X1400mm 1300X420X1200 220V 单相
 
 
加热元件:瑞典Kanthal  A1 进口电阻丝 (电阻丝可承诺保修2年)
 
控制方式
 
采用宇电程序控温仪表(标配)
 
可选配日本导电程序控温仪表
 
1、30段程序控温智能PID调节。
 
2、具有过温保护 断偶保护过温或断偶时电炉加热电路自动切断,,(当电炉温度超过1200度或热电偶烧断时,主电路上的交流继电器会自动断开,主电路断开,面板上ON灯熄灭,OFF灯亮,有限的保护电炉)。
 
3、带有485 通讯接口(选购软件时标配)
 
4、具有断电保护功能,即断电后再给电启动炉子时、程序不是从起始温度开始升、而是从断电时炉温开始升。
 
5、仪表具有温度自整定的功能
 
 
控温模式:智能PID     断偶保护和显示:有       过温保护:有           过流保护:有
 
 
炉膛材料:1、真空吸滤成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛。
 
                   2、采用日本技术成型。
 
                  3、炉膛里电阻丝的间距和节距全部按日本最优的热工技术布置、经过热工软件模拟温场
 
 
控制精度:+/- 1 ℃
 
触发器:移相触发
 
电器:浙江正泰
 
可控硅:106/16E 德国西门康
 
最高温度:1200 ℃                    
 
额定温度:1100 ℃
                                       
升温速率:≤20 ℃/ Min (可根据要求修改)
 
推荐升温速率:≤10℃/ Min
 
热电偶型号:K  型
                                                   
加热段长度:400mm                                               
 
真空法兰
 
1、为了增加抽气速率,达到更高真空的要求。可将原有软管接头更换成KF-25接口(VS-0.1和VS高真空系统接口皆为KF25)
 
2、如用于供气系统,可将原有软管接头更换成Φ6.35mm双卡套接头. 
 
 转动电机功率: 40W
 
电动推杆功率:40W
 
 炉子倾斜角度: -10~30度
 
 炉管转动速率 :采用无级变速电机  转速可在1-25转/min 之间可调
 
 转动密封方式 : 采用转动磁流体密封
 
四周表面温度:≤45℃
 
射频电源(等离子体发生器)
 
 
功率输出范围: 0-500W
 
最大反射功率:10W
 
信号频率:13.56MHZ±0.005%
 
噪声:<30 dB.
 
冷却方式:空气冷却
 
输入电源:208-240V  50/60HZ
 
 
GX供气系统主要参数
 
 
 
流量控制和检测采用
 
 
D07-7C质量流量计
 
 
标准量程:采用质子流量控制器       5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM  (你可以任意选择量程和所通气体的类型)
 
最大工作压力:3MP
 
准确度:±1.5%
 
气压降:<0.01MPa
 
重复精度:±0.2% F.S
 
 路数:1 、2、3、4、5、6、7、8 路(可任意选择几路)
 
接头类型:双卡套不锈钢接头
 
系统工作压力范围:0.1~0.5 MPa
 
工作温度:5-45℃
 
压力真空表表:-0.1~0.15MPa    0.01MPa/格
 
静态混气室: Dia50 X 400MM
 
接口: Dia6   1/4”
 
VS-0.1抽气系统
 
 
电源:220V
 
尺寸:600X600X600
 
波纹管:KF25X1000mm
 
用该系统抽炉管真空度可达:10 -1Pa
 
真空挡板阀:KF25
 

VRD-8真空泵(方案一)

型号:VRD-8
 
极限分压强:5X10-2 Pa
 
进排气接口:KF25
 
电机转速:1440RPM
 
抽气速率:2.2L/S
 
电机功率:0.4KW
 
无油干泵Perfeer ACP15(方案 二)
 
 
型号 ACP15
 
电源 100-240V     50/60HZ
 
极限分压强 0.02 Torr
 
进、排气接口 KF25
 
重量 25KG
 
最高氦气漏率 5 · 10-8 Pa m3/s 
 
抽气速率 14  m3/h
 
功率 450W  
 
电阻真空计
 
 
型号:ZDR-1
 
功率:25W
 
真空度测量范围:0.1-10 5 Pa
 
电阻硅:ZJ-52T
 
瑞典(INFICON)皮拉尼陶瓷电容真空计(选购)
 
 
型号:PCG554
 
输入电压:24V  1A DC(配有220V变压器)
 
真空计接口:KF16
 
数字显示:数字显示(屏幕尺寸为20x14mm),其数据显示单位为torr
 
产品尺寸:46mm×28mm×126mm ( L x W x H)
 
重量:5 lbs
 
检测气体:可检测各种气体,包括混合气体,测量精确、重复性好。
 
是否防腐:防腐
 
响应时间:≤30ms
 
测量范围:3.8x10-5 -1125 Torr.
 
 
 
GX供气系统主要参数
 
其它产品

请您填写咨询信息

  • *主题:

  • *内容:

  • *联系电话:

  • *电子邮箱:

  • *验证码:

    captcha