CVD、PECVD系统

首页 > CVD、PECVD系统
分类描述
CVD系统由供气系统+管式炉+抽气系统 ,最高温度可以达到1200度、1400度、1600度、1700度,加热区间可以是单温区、双温区、三温区等,极限真空可以达到10-3Pa,供气系统是流量调节可以是质子流量计或浮子流量计,混气路数可以是2路、3路、4路、5路相混合。PECVD比普通CVD进行化学气相沉积速率高、均匀性好、一致性和稳定性高。